薄膜測量系統是基於白光干涉的原理來確定光學薄膜的厚度。白光干涉圖樣通過數學函數被計算出薄膜厚度。對於單層膜來說，如果已知薄膜介質的n和k值就可以計算出它的物理厚度。

AvaSoft-Thinfilm應用軟體內包含有一個大部分常用材料和膜層n和k值的內置資料庫。

AvaSoft-Thinfilm系統可以測量的膜層厚度從10nm到50µm，解析度可達1nm。

薄膜測量廣泛應用於半導體晶片生產工業，此時需要監控等離子刻蝕和沉積加工過程。還可以用於其他需要測量在金屬和玻璃基底上鍍制透明膜層的領域。其他領域中，金屬表面的透明塗層和玻璃襯底也需要嚴格測量。

AvaSoft-Thinfilm應用軟體能夠即時監控膜層厚度，並且可以與其他AvaSoft應用軟體如XLS輸出到Excel軟體和過程監控軟體一起使用。

                   

薄膜測量常用配置

                 

 

 

光譜儀	AvaSpec-2048光譜儀，UA光柵（200-1100nm），UV鍍膜，DCL-UV/VIS靈敏度增強透鏡，OSC-200-1100消二階衍射效應鍍膜
膜層厚度	10nm到50µm的膜層，1nm解析度
軟體	AvaSoft-Thinfilm應用軟體
光源	AvaLight-DHc緊湊型氘-鹵素光源
光纖	1根FCR-7UV200-2-ME反射光纖探頭
附件	THINFILM-STAGE支架，用於固定反射光纖探頭